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超凈實(shí)驗(yàn)室也稱超凈間,根據(jù)國人的語言表達(dá)習(xí)慣也稱為超凈房、超凈室。超凈實(shí)驗(yàn)室顧名思義超凈實(shí)驗(yàn)室是超級(jí)潔凈的潔凈室是能達(dá)到實(shí)驗(yàn)室標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室。
超凈實(shí)驗(yàn)室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 超凈間最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造、檢測、科研,此空間我們稱之為超凈實(shí)驗(yàn)室。
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